技術特點
低溫滅菌工藝（4-80°C）
在蒸熏程序完成，殘留物很少（不需再次清潔）
蒸熏后無有毒副產品(健康& 安全)
對于其他物品無影響（裝置，電器，潔凈室墻板等）
VHP工藝十分容易驗證(符合法規要求, 工藝控制)
環保(健康& 安全)
對高效過濾器HEPA 穿透性好(玻璃纖維)
在低氣體濃度(1-2mg/l = 1000ppm)下對大多數的微生物滅菌效果很好
滅菌所需時間短
節約成本(停機時間短)
各類型滅菌方式比較-甲醛使用現狀
Formaldehyde Issues and concerns 關于甲醛的爭論和憂慮
氣體是由甲醛溶液或福馬林加熱形成
作用慢，需要長蒸熏時間
結晶狀殘留物
未有出版物證明滅菌前后的效果有效
十分難驗證滅菌程序
蒸熏時人員必須撤離(停機時間長)
劇毒且被歸類為‘Class A’ 致癌和導致細胞變異的物質
易燃
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